[특징]
● 매스 플로우 컨트롤러를 사용하고 있기 때문에, 압력온도의 영향을 받지않고 안정된 혼합가스를 공급할 수 있습니다.
● 터치 패널식을 설정이 용이합니다.
● 각 라인의 유량시간을 설정해서 프로그램 운전이 가능합니다.
● 각 라인의 유량의 상하한 설정이 가능하고 결보음 통지가 가능합니다.
[사양]
● 대응 가스 종류:N2・Air・H2・Ar・He・CO2・O2・CH4等不活性ガス
● 유량:1 라인 10SCCM~20SLM(각 계통 가스 합계 50SLM까지)
● 접속:1/4SWL 상당
● 입력 전원:AC100V
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